|
EH250
|
EH500
|
EH1200
|
EH2600
|
EH4200
|
排量(掃過的容積)
|
|
||||
50Hz (m3/h)
|
310
|
505
|
1195
|
2590
|
4140
|
60Hz (m3/h)
|
375
|
605
|
1435
|
3110
|
4985
|
抽氣速度(配相應的前級泵)
|
|
||||
E1/2M40(m3/h)
|
225
|
350
|
|
|
|
GV80/DP80(m3/h)
|
250
|
400
|
840
|
|
|
GV160/DP160(m3/h)
|
|
|
950
|
|
|
E1/2M175(m3/h)
|
|
|
930
|
|
|
GV250/DP250(m3/h)
|
|
|
970
|
1900
|
2900
|
GV400/DP400(m3/h)
|
|
|
|
200
|
3000
|
極限真空(配相應的前級泵)
|
|
||||
干式泵(mbar/Torr)
|
0.01/0.0075
|
||||
雙級旋片泵(mbar/Torr)
|
0.001/0.00075
|
||||
單級旋片泵
|
0.01/0.0075
|
||||
入氣/出氣口壓差
|
|
||||
50Hz(mbar/Torr)
|
0-180/135
|
0-110/82
|
0-90/67
|
0-80/60
|
0-60/45
|
60Hz(mbar/Torr)
|
0-150/112
|
0-90/67
|
0-75/56
|
0-67/50
|
0-50/37
|
電壓(三相)
|
|
||||
50Hz
|
220-240V/380-415V(所有泵)
|
||||
60Hz
|
208-230V/460V(所有泵)
|
||||
馬達功率(KW)
|
1.5
|
1.5
|
3.0
|
7.5
|
7.5
|
推薦冷卻水流量
入口溫度20 (L/h)
|
|
|
120
|
250
|
250
|
推薦冷卻水壓力(bar)
|
|
|
2-6
|
2-6
|
2-6
|
運行的環境溫度范圍(℃)
|
5-40
|
5-40
|
5-40
|
5-40
|
5-40
|
推薦用油
|
|
||||
標準型
|
Ultragrade 20 (所有泵)
|
||||
PFPE型
|
Fomblin YVAC 16/6 (所有泵)
|
||||
油容量
|
|
||||
齒輪箱
|
|
|
1.25
|
3.5
|
3.5
|
聯軸器箱
|
1.5
|
1.5
|
2.4
|
7.3
|
7.3
|
軸封油箱
|
0.13
|
0.13
|
0.13
|
1.5
|
1.5
|
重量(kg)
|
61
|
74
|
149
|
308
|
400
|
|
HV11000
|
HV14000
|
HV30000
|
排量(掃過的容積)
|
|
||
50Hz (m3/h)
|
11200
|
14100
|
30000
|
60Hz (m3/h)
|
13400
|
16900
|
30000
|
抽氣速度(配相應的前級泵)
|
|
||
E1/2M40(m3/h)
|
6900
|
7800
|
1300
|
GV80/DP80(m3/h)
|
|
|
21000
|
電壓(三相)
|
|
||
50Hz
|
400V (所有泵)
|
||
60Hz
|
460V (所有泵)
|
||
馬達功率(KW)
|
|
||
50Hz
|
18.5
|
18.5
|
30
|
60Hz
|
22
|
22
|
30
|
推薦用油
|
Ultragrade 20 (所有泵)
|
||
油容量
|
20
|
20
|
33
|
重量(kg)
|
1115
|
1945
|
3100
|