按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類(lèi)型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線(xiàn)真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用*多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
按其真空度可以分為:粗真空、高真空、超高真空三大類(lèi)。
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