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愛德華干式真空泵介紹1
愛德華干式真空泵介紹(應用于新能源行業晶體太陽能電池制造行業)

 		 
    IH 干泵 
  • 晶體太陽能電池制造中苛刻工藝應用（例如LPCVD，PECVD）的**選擇
  • 具有優異的粉塵處理能力，冷凝物更少
  • 功耗更低，占用空間更小，零維護
  • 抽氣能力范圍：51-589立方英尺/分鐘（86-1800立方米/小時）
 
     GV干泵（常見型號：愛德華GV250、GV160、GV600） 
  • **的粉塵和顆粒處理能力，氣路短，分級壓縮，能效高
  • 必要時可以與機械增壓泵系列中任何一種組合使用，將抽氣速率提升至2425立方英尺/分鐘（4200立方米/小時），并獲得更低的真空度。
  • 多級羅茨和/或爪式機構使真空度達到0.023托（0.03毫巴）
  • 多級羅茨和/或爪式機構組合，抽氣速率范圍：47-330立方英尺/分鐘（80-560立方米/小時）
  • 應用范圍：拉晶、層壓和PECVD（作為iH系列的代替品，這應當是**選擇）
     
蘇州易維科技專業維修各類進口真空泵
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