真空泵維修抽不到真空泵的極限真空度：先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。
在排除以上兩個因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形、磨損或損壞也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門；
長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足,，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時應更換排氣閥門。
